在离子注入掺杂时，有少部分杂质进入衬底后穿过较大距离，这种现象就是。当偏离晶向 ψc注入时，可以避免。A:沟道效应，< B:沟道效应，> C:横向效应，< D:横向效应，> 答案: 沟道效应，>

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在离子注入掺杂时，有少部分杂质进入衬底后穿过较大距离，这种现象就是 。当偏离晶向 ψc注入时，可以避免。A:沟道效应，< B:沟道效应，> C:横向效应，< D:横向效应，> 答案: 沟道效应，>